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  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "技術".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="氟"


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    帶有以CF4電漿處理之緩衝隔絕層之低溫複晶矽薄膜電晶體特性改善研究
    • 電子工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 楊鈞傑 指導教授: 范慶麟
    • 本論文中以一種新穎的方法探討氟在低溫複晶矽薄膜電晶體中,驅入的容易度,以及對元件特性改善的效果;並對先前的技術做比較。 我們提出的方法是,使用CF4電漿來對元件的Buffer Layer做處…
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    • 全文公開日期 2014/08/03 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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